長度計(jì)量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖(彩色抄錄版)

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長度計(jì)量器具（量塊部分）檢定系統(tǒng)

JJG2056-90

本檢定系統(tǒng)適用于長計(jì)量器具--量塊和與量塊長度密切相關(guān)的計(jì)量器具的檢定，規(guī)定了長度單位（m）國家基準(zhǔn)的用途，基準(zhǔn)所包括全套的基本計(jì)量器具，基準(zhǔn)的基本計(jì)量學(xué)參數(shù)和借助于副基準(zhǔn)、工作基準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)向工作計(jì)量器具傳遞長度單位量值的程序，并指出其不確定度、示值誤差和基本檢定方法。

一、計(jì)量基準(zhǔn)器具1、國家長度計(jì)量基準(zhǔn)

1.1國家長度計(jì)量基準(zhǔn)由經(jīng)過飽和吸收穩(wěn)頻的激光輻射線波長（λ=3.3922313970μm，λ=0.6329913981μm，λ=0.6119707698μm）和其他由米定義咨詢委員會(huì)（CCDM）推薦的輻射線波長所組成，其測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度Ur（置信限）為Ur=1.3×10-10～4×10-9

1.2計(jì)量基準(zhǔn)的用途，對(duì)上復(fù)現(xiàn)國際米定義--光在真空中在299792458分之一稱時(shí)間間隔內(nèi)所行經(jīng)距離的長度--所定義的長度（m）；對(duì)下把其所復(fù)現(xiàn)的長度經(jīng)由拍頻或其他比較方式傳遞到工作基準(zhǔn)。2、副基準(zhǔn)

副基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和技術(shù)指標(biāo)與基準(zhǔn)相同，通過相互比對(duì)與基準(zhǔn)保持一致或傳遞到工作基準(zhǔn)。3、工作基準(zhǔn)

3.1工作基準(zhǔn)由穩(wěn)頻的He-Ne激光波長，86Kr，198Hg，114Cd，Kr，He和Cd輻射線的波長，其測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度Ur=5×10-8～1×10-7，適當(dāng)類型的光波干涉儀，鋼量塊組（標(biāo)稱長度為：1，50，100，500和1000mm6塊）和石英量塊組（標(biāo)稱尺寸為：5，50，100，500和1000mm6塊）等三部分組成。當(dāng)置信概率為0.99，其長度測(cè)量結(jié)果的總絕對(duì)不確定度（或總不確定度）U（用置信限表示--以下均同）為：U=（0.02+0.1ι）μm式中：ι--量塊的長度（m）。

3.2工作基準(zhǔn)中的長度測(cè)量裝置，直接用于高等級(jí)量塊（包括工作基準(zhǔn)組量塊）的長度測(cè)量。其中工作基準(zhǔn)組量塊主要用于國際和國內(nèi)最高等級(jí)量塊長度測(cè)量裝置測(cè)得結(jié)果的相互比對(duì)，以此保持量值在國內(nèi)和國際間的統(tǒng)一。

二、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具

4、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具由各種類型具有直接測(cè)量或比較測(cè)量功能的儀器和分為6個(gè)等的量程到1000mm的量塊組成。當(dāng)置信概率為0.99，各等量塊中心長度測(cè)量結(jié)果的總不確定度U（置信限）如表1所示。表1

標(biāo)準(zhǔn)量塊的等123456中心長度測(cè)量的總不確定度U（μm）0.02+0.2ι0.05+0.5ι0.10+1.0ι0.20+2.0ι0.5+5ι2.0+12ι

4.1計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器中的儀器，凡具有直接測(cè)量功能的，例如光波干涉儀、測(cè)長機(jī)和測(cè)長儀等，可以直接測(cè)量相應(yīng)等級(jí)的量塊和工作計(jì)量器具的長度。只具有比較測(cè)量功能的，例如某些類型的接觸干涉儀、光學(xué)計(jì)和電感比較儀等，采用比被測(cè)高一等的量塊作標(biāo)準(zhǔn)，比較測(cè)量相應(yīng)等級(jí)的量塊和其他工作計(jì)量器具。

4.2計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器中的各等量塊，可以用直接測(cè)量或比較測(cè)量法檢定適當(dāng)示值誤差的工作計(jì)量器具。

三、工作計(jì)量器具

工作計(jì)量器具的名稱和有關(guān)特征列于表2。

測(cè)量方式DDCDCDCDCDCMDDDD名稱00級(jí)量塊0級(jí)量塊K級(jí)量塊1級(jí)量塊2級(jí)量塊3級(jí)量塊量塊長度測(cè)量的干涉儀量塊長度測(cè)量的干涉儀量塊長度測(cè)量的干涉儀量塊長度測(cè)量的干涉儀立式接觸式干涉儀臥式接觸式干涉儀0.2μm光學(xué)計(jì)1μm立式光學(xué)計(jì)1μm臥式光學(xué)計(jì)0.1μm扭簧比較儀0.2μm扭簧比較儀0.5μm扭簧比較儀1μm扭簧比較儀2μm扭簧比較儀5μm扭簧比較儀10μm扭簧比較儀0.1,1,10μm電感比較儀0.5μm杠桿齒輪式比較儀量程R0.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-1000～1000～100～100100～1000±(2.5,5,10)μm±(2.5,5,10)μm±（20，83）μm±100μm±100μm±100μm±100μm±100μm±60μm±50,60μm±60μm±60μm±30，±300μm示值誤差△0.05+1.0ι0.10+2.0ι0.20+4ι0.20+4ι0.4+8ι0.8+16ι0.02+0.2ι0.02+0.2ι0.03+0.5ι0.03+0.5ι0.03+1.5ni×△λ/λ0.03+1.5ni×△λ/λ0.05+0.0025A0.2-0.250.2-0.250.1-0.20.15-0.30.25-0.50.40-1.00.8-1.22-33-50.1-50.25-0.5OOS112234D1.2D2D23D23D2234553523D4D4D5DDDDD3D1μm杠桿齒輪式比較儀2μm杠桿齒輪式比較儀測(cè)微儀檢定器1μm測(cè)微計(jì)2μm測(cè)微計(jì)5，10μm測(cè)微計(jì)1μm測(cè)長機(jī)1μm立式測(cè)長儀1μm臥式測(cè)長儀千分表檢定儀百分表檢定器工具顯微鏡氣動(dòng)浮標(biāo)式測(cè)量儀氣動(dòng)指針式測(cè)量儀杠桿千分尺校對(duì)量桿0級(jí)千分尺校對(duì)量桿1級(jí)千分尺校對(duì)量桿公法線千分尺校對(duì)量桿0.010級(jí)千分尺0.011級(jí)千分尺0.01深度千分尺0.01帶表千分尺0.01板厚千分尺0.01壁厚千分尺0.01內(nèi)側(cè)千分尺內(nèi)側(cè)千分尺校對(duì)量具10μm內(nèi)徑千分尺1，2μm杠桿千分尺公法線千分尺2μm杠桿式卡規(guī)5μm杠桿式卡規(guī)10μm百分表式卡規(guī)0.01,0.02帶表游標(biāo)卡尺0.05帶表游標(biāo)卡尺0.02游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)卡尺0.1游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)高度尺0.1游標(biāo)高度尺0.5-11-20.10.512-2.534D45D32D4D45D5D23D

3D33343333D0-±100μm0-1,2,3,6m0-1000-1000-1,0-10-250-20.014-0.090.05-0.425-7525-7525-47525-1250-1000-5000-1500-1000-250-25-5050-50000-1000-1500-1500-1500-1500-10000-3000-3000-10000-10000-10000-201*0-201*0.2-0.250.5+10ι1+10ι1+5ι0.8-1.540.60.4-210.51-1.52-52-2.524-105-1034-88836-702-65-61-22.5-510-25205020-7050-125100-15050-201*00-250DDDDDDC4C4C4C45DD5D4D5D55453DDCCD4,5D5D45666DDDDD6D

6D66DD

表中：R--量程，除已標(biāo)明的以外，其余計(jì)量單位為（mm）；△--示值誤差（μm）；

O--檢定該示值誤差時(shí)應(yīng)采用標(biāo)準(zhǔn)量塊的等別；

OS--采用多于1對(duì)并按串列方式組合的量塊用作示值誤差檢定時(shí)應(yīng)選量塊的等別；ι--示值誤差△公式中被測(cè)長度（m）；

A--示值誤差△公式中被測(cè)與標(biāo)準(zhǔn)兩者長度之差在儀器上的讀數(shù)值（μm）；n--示值誤差△檢定時(shí)，受檢間隔在儀器標(biāo)尺上讀出的格數(shù)；i--示值的分度值（μm/格）；△λ--濾光片波長的測(cè)量誤差（μm）；λ--濾光片波長（μm）；D--直接測(cè)量方式；C--比較測(cè)量方式；

M--直接和比較混合的測(cè)量方式。

四、長度計(jì)量器具（量塊部分）檢定系統(tǒng)框圖圖中符號(hào)說明：

Ur--測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度（置信限）；

U--測(cè)量結(jié)果總的絕對(duì)不確定度或稱總不確定度（置信限）（μm）；△--示值誤差（μm）；ι--被測(cè)的長度（m）。注：1、除標(biāo)明單位的以外，框圖內(nèi)量程的單位均為（mm）；

2、沒有被列入本檢定系統(tǒng)的計(jì)量器具，只要符合規(guī)定的要求都可以使用。

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