第一篇：初中物理信息技術(shù)工作總結(jié)

初中物理信息技術(shù)工作總結(jié)信息技術(shù)在課堂教學中的應(yīng)用已經(jīng)被廣大物理教師所接受，但應(yīng)用的形式過于單一，根據(jù)教育部頒布的《基礎(chǔ)教育課程改革綱要》，信息技術(shù)與學科課程的整合，不是簡單地把信息技術(shù)僅僅作為輔助教師教學的演示工具，而是要實現(xiàn)信息技術(shù)與學科教學的“融合”。因此，信息技術(shù)與物理學科整合的關(guān)鍵就是如何有效地應(yīng)用信息技術(shù)的優(yōu)勢更好地達到課程學習的目標，培養(yǎng)學生的創(chuàng)新精神和實踐能力。

雖然這是現(xiàn)代信息技術(shù)用于課堂教學的最初表現(xiàn)形式，學生在學習過程中仍處于被動地位，但是在實際的課堂教學中是完全必要的。盡管我們提倡探究學習、發(fā)現(xiàn)學習，教師的講解也是不能全盤否定的，學生在學習過程中并不總是處于主動的發(fā)現(xiàn)地位，有些知識還得通過接受式學習獲得。

例如，在學習《眼睛》時，利用計算機課件提供的模擬環(huán)境，讓學生感受晶狀體調(diào)節(jié)的功能。利用眼睛視物原理的動畫圖像，將春華秋實集眼睛看物體與凸透鏡成像進行類比。另外，在配鏡環(huán)節(jié)實驗探究只能獲取一個粗略的認識，而通過互動課件的模擬配鏡，可清晰地觀察放入不同的透鏡光路發(fā)生變化的動態(tài)過程。當然，教師在設(shè)計教學過程時，應(yīng)該制作或選擇優(yōu)秀的適合的教學軟件，讓學生在學習時，甚至在看、聽時有興趣，接受到的信息是通過其他媒體難以在課堂上傳輸?shù)�。如果信息技術(shù)的使用達不到投影、幻燈、錄像的教學效果，或者只是簡單地代替了投影、幻燈、錄像等媒體，成為教學的一種裝飾或點綴，甚至為應(yīng)試教育服務(wù)，使用就毫無意義了。

第二篇：物理教師個人專業(yè)技術(shù)工作總結(jié)

自任現(xiàn)職以來，懷著對物理教學的無限熱愛，帶著滿腔熱情，始終如一地在物理教學工作中潛心鉆研，努力探索，緊跟時代步伐，與時俱進，在平凡的崗位上默默地奉獻著青春和汗水，本人自任現(xiàn)職以來，盡職盡責，努力鉆研，站在時代的高度對自己提出了嚴格的要求。作為新時代的一名中學物理教師，既掌握了較深厚的基礎(chǔ)知識，又具備了較強的教學實踐能力，不斷提高自己的業(yè)務(wù)文化水平，適應(yīng)了新的時代對教師提出的新的要求。邊工作邊研究，針對實際，確定課題，做有意義的教學探索，致力于教學改革，較大幅度的提高了教學質(zhì)量，成為了一個研究型的物理教師。

自任現(xiàn)職以來，工作成績突出，高質(zhì)量的完成了教學任務(wù)，實現(xiàn)了各項教學目標，以課堂教學為主渠道，實施了素質(zhì)教育，既精準地向?qū)W生傳授了物理知識，又培養(yǎng)了學生的自學能力和實驗能力。

本人熱愛物理教學工作，對工作充滿熱情，對教學充滿濃厚的興趣，不斷地探索新式教學方法，全身心的投入教學工作。心中總是裝著學生，關(guān)注學生的成長。寓教于樂，樂在其中，把教物理作為自己人生價值的體現(xiàn)。

本人掌握了深厚的物理知識功底，也對物理學科有著深刻的認識。物理知識與人類生活密切相關(guān)，是人類文明的重要組成部分。工具性與科學性的統(tǒng)一，是物理課程的基本特點。物理學科性質(zhì)決定了這門課程具有多重功能和實用價值。教物理時必須面向全體學生，使學生獲得基本的物理知識和概念。還要培養(yǎng)學生的自學能力和實驗精神，指導學生正確的理解和運用物理知識去解決生活中的實際問題。

在新課標理念下，本人深入的學習了《當代教育理論》、《教育新理念》、《現(xiàn)代教育技術(shù)》、初中物理《課程與教學方法改革》等專業(yè)理論基礎(chǔ)知識，深入領(lǐng)會《物理課程標準》的精髓，為自己的物理教學工作打下堅實的基礎(chǔ)，也為自己的課堂教學設(shè)計找到了很好的理論依據(jù)。同時，也給自己敢于嘗試教研、教改工作樹立了信心。

隨著物理教學改革的逐步推行，在新課程理念、新課標思想的感召下，本人在課堂教學中，做了以下幾方面的研究和探索，效果顯著。

一、把教學重心落在學生身上，使學生成為學習和發(fā)展的主體。新課標下的物理教學倡導學生通過自己的實驗去獲得知識，以求在此過程中有獨特的體驗和對物理概念獨特的理解。教學中我不斷調(diào)整自己的角色和行為，使自己成為學生發(fā)展的引導者和促進者，給學生動手實際操作的機會，參與到獲得知識的過程中。。

二、強化學生自主學習的意識，培養(yǎng)學生自主學習的意識和習慣。在課堂教學中，本人為學生創(chuàng)設(shè)良好的自主學習情境，尊重學生的個性差異，鼓勵學生選擇適合自己的學習方式，讓學生在自主的前提下，合作討論、相互補充，自己去參與獲得知識的過程。

三、本人在教學中，關(guān)注學生的基本素質(zhì)的訓練和培養(yǎng)的同時，更重視開發(fā)學生的創(chuàng)造潛能，培養(yǎng)學生主動探究的能力和勇于創(chuàng)新的精神，促進學生可持續(xù)發(fā)展。本人在任畢業(yè)班物理課時發(fā)現(xiàn)，學生在解答實踐題時，表現(xiàn)得很拘謹，或很盲目，有的甚至不敢答、不會答。于是，我以新課標為宗旨，鼓勵學生進行大膽地“創(chuàng)造性嘗試”。要求學生在熟讀題目的基礎(chǔ)上，主動積極的思維，表述自己的思考過程，加深理解，做到有所感悟和思考，讓學生多角度地暢談自己的收獲，獲得的思想啟迪，享受到的樂趣。也可以對題目內(nèi)容提出質(zhì)疑，還可以聯(lián)系社會生活拓展開去，經(jīng)過幾年來師生的共同摸索和實踐，我所任教班級的物理成績有了很大的提高。

四、在課堂教學中，重視對學生的情感、態(tài)度、價值觀的正確導向，為學生成為社會高素質(zhì)的青年打下良好的基礎(chǔ)。本人在課堂上不但引導學生學習知識、培養(yǎng)能力，而且把培養(yǎng)學生高尚的道德情操和健康的審美情趣，教育學生形成正確的價值觀和積極的人生態(tài)度，巧妙的融于教學內(nèi)容當中。

本人在教學的同時積極參加教研、教改實踐活動，在活動中認真鉆研專業(yè)理論知識，深入研究教材，結(jié)合學生實際探索新教法，并虛心向教學經(jīng)驗豐富的教師學習，把先進的教學手段，巧妙的運用于課堂教學中，教學效果顯著。201*.6課題研究成果《物理學科中自學能力的培養(yǎng)》榮獲盟級教育科研成果壹等獎。

本人還在工作之余認真總結(jié)經(jīng)驗教訓，把經(jīng)驗教訓形成理論，撰寫出教學論文一篇。201*年撰寫的論文《利用“信息”激發(fā)學生探究物理的活力》獲區(qū)級壹等獎。

一分耕耘一分收獲，辛勤的汗水換來了令人可喜的成績。本人的教學成績優(yōu)秀，在歷屆中考、統(tǒng)考中列在全縣名列前茅。

面對今天取得的成績，本人并沒有滿足。我深知，這只是我教學生涯的開始，今后的路還很長，任務(wù)更艱巨。本人將繼續(xù)努力，不斷接受新思想、新理念，探索新的教學方法，提高自己的思想修養(yǎng)和文化素質(zhì)，與時俱進，默默奉獻，做一名適應(yīng)時代發(fā)展的優(yōu)秀教師。

第三篇：物理專業(yè)技術(shù)定級轉(zhuǎn)正工作總結(jié)

物理專業(yè)技術(shù)定級轉(zhuǎn)正工作總結(jié)

時光如水,歲月如歌，匆匆而過，眨眼功夫，一年見習期滿了。在學校領(lǐng)導和同事們的熱心支持與幫助下，我順利的完成了見習期的工作，積極完成學校布置的各項任務(wù)。初為人師的一年里，我慶幸自己能走上自小夢寐以求的三尺講臺，實現(xiàn)了由學生向教師過度的角色轉(zhuǎn)變，融入了學校學教師集體的大家庭中，從中感悟到了師風師德的重要，懂得了教師的責任，同時也促使我無論是學習能力、教學能力還是專業(yè)水平都得到較明顯的提升。作為一名本著顆要對得起學生教育好學生的教育之心，以師德、師愛、師智、師能來要求自己，以愛播撒，用愛耕耘，讓孩子身心健康發(fā)展。回顧這一年的工作，既忙碌，又充實，有許多值得總結(jié)和反思的地方。現(xiàn)將一年來的工作做一個總結(jié)，總結(jié)過去，寄望明天工作干得更好、更為出色。

一、 思想方面： 作為一名中國共產(chǎn)黨黨員教師我一直積極參加政治學習，關(guān)心國家大事，堅持四項基本原則，擁護黨的各項方針政策。團結(jié)同志，教育的目的明確，態(tài)度端正，鉆研業(yè)務(wù)，勤奮刻苦，關(guān)愛學生，為人師表，有奉獻精神。并且積極參各級各項活動，提升自己的業(yè)務(wù)能力。

二、教學方面：作為一名物理教育教學工作者來說，加強自身業(yè)務(wù)水平，提高教學質(zhì)量無疑是至關(guān)重要的�？偨Y(jié)教學經(jīng)驗，改進教學方法，努力創(chuàng)設(shè)良好的課堂情境，激發(fā)學生的學習熱情，提高教育教學質(zhì)量，我在這些方面也做了不少努力：

（1）課前準備：把握物理特點，專研備好物理課。物理是門特殊趣味性較強的學科，為高效上好每一堂課，每次備課都結(jié)合學科特點積極參加教研組的教研活動，認真鉆研教材、教參，學習好課程標準，虛心向經(jīng)驗豐富的老師學習、請教。力求吃透教材，找準重點、難點。為了上好一節(jié)課，我上網(wǎng)查資料，集中別人的優(yōu)點，確定自己的教學思路。

（2）課堂上：把握物理特點，上好每一堂課。我在教學當中，非常重視物理實驗的啟發(fā)作用，把物理知識與生活實踐緊密聯(lián)系在一起，注意教學內(nèi)容的價值取向，同時也尊重學生在學習過程中的獨特體驗。上課時注重學生主動性的發(fā)揮，著重培養(yǎng)學生的動手實踐能力，在動手中發(fā)現(xiàn)問題，發(fā)散學生的思維,注重綜合能力的培養(yǎng),有意識的培養(yǎng)學生的思維的嚴謹性及邏輯性,在教學中提高學生的思維素質(zhì)。組織好課堂教學，關(guān)注全體學生，注意信息反饋，調(diào)動學生的學習積極性，創(chuàng)造良好的課堂氣氛，課堂盡可能多提問，精心設(shè)問讓更多的學生處于積極思考問題的狀態(tài)中，激發(fā)了學生學習的積極性和主動性。

（3）課后：認真及時批改作業(yè)，注意聽取各類學生的意見，及時了解學生的學習情況和思想狀況，對學習中存在的問題及時處理，我相信，只要我和學生共同努力，每天進步一點點，最終一定會取得不錯的成績的。

三、其他方面：把握聽課機會。作為新教師的我們最大弱項就是課堂教學把握不好，所以，為較好的上好課我常常向老教師學習課堂教學的方法以及模式，努力探索適合自己的教學模式注重教育理論的學習,注意把一些先進的理論應(yīng)用于課堂,做到學有所用。一年來，我不僅細心聽好自己同事的實驗課，而且抓住外出聽課的機會，詳細地做好筆記，學習借鑒他們的好的方法、舉措，然后用來規(guī)范提升自己的課堂教學。生活中團結(jié)師生，相處較為融洽。

一年以來，我始終堅持意教育好每一位學生為己任，不記個人得失，任勞任怨，也從中獲益匪淺。俗話說：“嚴師出高徒”，我始終堅持嚴格要求學生，把師愛變得更高尚。踏上講臺以來，我一直認為愛心是一把鑰匙，教師帶好班級的關(guān)鍵。用熱心、真心、耐心、愛心的火焰點燃學生的心靈之光，在學生的心中樹立感情真摯的朋友形象，積極深入學生心靈了解關(guān)心他們，正確指引他們成長。 一年的工作與學習，不斷的探索，我自感收獲頗豐但亦有不足之處， 在今后的工作和學習中，經(jīng)過磨練，我會改善自己的不足，更嚴格要求自己，努力工作，發(fā)揚優(yōu)點，以著“生命不息，奮斗不止”不斷勉勵自己。越做越好，全面而不失風格。守護祖國的花朵的教師是一棵棵大樹，向上吸收著養(yǎng)分，向下也滋潤著身邊的學生。我還只是一棵棵小樹，只有翠綠的枝椏，沒有碩大的綠蔭，成長在栽培我的這中學。也許現(xiàn)在的我還不具備陶行知的愛滿天下，但我會努力做美的耕耘者，美的播種者。希望用美的陽光普照，用美的雨露滋潤，讓學生的心田綠草如茵，繁花似錦

第四篇：201*-201*學年下學期工作總結(jié)物理科學技術(shù)學院201*級輔導員朱慧

前行

201*—201*學年下學期工作總結(jié)

物理科學技術(shù)學院201*級輔導員朱慧

進入大學輔導員隊伍到現(xiàn)在已快三年了，在工作期間，自己的業(yè)務(wù)知識不斷成長起來、工作有條不紊的開展,這與學校同事的指導和關(guān)心是分不開的。我在日常的工作中，學到并掌握了許多知識,對輔導員的工作有了更深刻的了解，現(xiàn)將一年的工作總結(jié)如下：一、201*級學生概況

我所接手管理的是云南大學物理科學技術(shù)學院201*級的學生，今年大二。本級的學生分別屬于物理和材料兩個系的五個不同的專業(yè)，共220人。其中有男生160人，女生60人，截至目前為止本級有學生黨員14人，正式黨員3人，預備黨員11人，其他同學也全部交上入黨申請書。

二、主要工作情況

（一）做好學生的思想政治工作

高校是培養(yǎng)社會主義建設(shè)事業(yè)中堅力量的教育基地。在平時的學生工作中，我通過思想政治工作來幫助和解決學生在成長過程中的煩惱、困惑和迷茫等問題，并引導他們樹立正確的人生觀、價值觀。大學時間相對充裕，學生們各方面的積極性都很高，他們需要一個舞臺來表現(xiàn)自己，展示自己。因此我們在加強思想政治學習的同時，開展多種活動豐富學生生活，展示學生才華。我所帶的201*級是大二的學生，總體趨于穩(wěn)定，對于即將踏入社會的現(xiàn)實，很多人迷茫不知所措，他們更傾向于自己的實際問題比如考研、就業(yè)。這一時期學生的思想政治工作，本著少而精。小而精的原則，根據(jù)學生不統(tǒng)一的時間安排，減少統(tǒng)一集體活動的次數(shù)，減少理論和政策學習，而是把這些融入到大家普遍關(guān)注的問題上，比如今年云南的旱災、玉樹的地震、上海世博會、大四學生的就業(yè)，考研人數(shù)的變化等，以一種現(xiàn)實靈活的方式達到教育的目的。

（二）以心理健康教育為突破口，進一步了解、關(guān)心學生

現(xiàn)在的學生心理成熟早、知識面廣，但是心理障礙的發(fā)生率高，各類心理異常問題的比例日趨上升。學校和學院各個層面對學生的心理健康教育尤為關(guān)注。通過問卷調(diào)查，發(fā)現(xiàn)學生中出現(xiàn)較多的心理問題有偏執(zhí)型人格、學業(yè)困難、焦慮、抑郁、心理危機。專家分析，人格偏執(zhí)的大學生往往對人持有偏見，把別人的各種態(tài)度都視為敵對行為；學業(yè)困難的同學雖然原因各異，但一般都會伴有逃避困難、焦慮、缺乏行動力等問題；患有焦慮癥的同學往往會夸大事實，過分擔心將來的事情，覺得自己的身心會受到威脅；而患有抑郁癥的同學常常表現(xiàn)為對自己、對前途、對周圍世界抱有負面性認識，自我輕賤；而有強迫思維特點的同學常常會對一切都不放心、總怕自己的行為不合適、窮思竭慮。對于心理有問題的學生，我根據(jù)不同的情況從不同的側(cè)面指導，平時多給其進行心理疏導，幫助他們分析暫時失利的原因，堅定其意志，挖掘他們的優(yōu)點并及時給以鼓勵。

（三）健全貧困生資助體系，完善運行機制

貧困生是物理學院學生中一個較大的群體，08級有220人，貧困生就有107人，占全集人數(shù)的49%。如何能夠保證貧困學生順利完成學業(yè)也是我們的工作重點之一。多年來，學院始終高度重視貧困生工作。首先，根據(jù)學校的相關(guān)文件，通過各班級貧困生認定小組的認定建立了貧困生檔案。在檔案里如實記載了貧困生的個人情況和家庭經(jīng)濟情況。其次，了解基本情況之后，通過各種資助政策推進助困育人工作的科學化和規(guī)范化，逐步形成了以國家

和生源地助學貸款、勤工助學為主，以獎學金、助學金、困難補助為輔的全方位助困育人的服務(wù)體系，有效地幫助了貧困學生順利完成學業(yè)，推動了和諧校園建設(shè)。

1、國家獎助學金。學校堅持公開、公平、公正原則，加大對優(yōu)秀貧困學生的獎勵力度和生活伙食補助的發(fā)放。今年08級，有1名同學獲國家獎學金，4名同學獲國家勵志獎學金，2名同學獲省政府獎學金，4名獲省勵志獎學金，45名同學獲校級獎學金，76名同學獲國家助學金。

2、國家和生源地助學貸款。今年我級已有26個同學成功辦理國家助學貸款加上去年的41個，已有67名同學成功辦理國家助學貸款。還有8名同學成功辦理了生源地助學貸款。保證了貧困生的正常學習和生活。

3、勤工助學。學校努力為家庭經(jīng)濟困難學生拓展勤工助學渠道。開學初，通過收集閱讀貧困生的申請，并根據(jù)各個同學的性格特點和工作能力，按照學校的崗位安排，分別讓他們負責宿舍值班、打掃衛(wèi)生、圖書館勤工、校醫(yī)院勤工、幫助教務(wù)辦公室整理材料等十個崗位的工作。

4、專項困難補助。為了使我院經(jīng)濟困難學生安心學習，幫助他們順利完成學業(yè)，學院對他們給予適當?shù)睦щy補助。如臨時困難補助。

（四）以學生的成長、成才為目標，積極開展班級工作

1、強化學習意識，加強學風建設(shè)。作為學生，其主要任務(wù)就是學習。日常工作中，我不僅要求他們學好專業(yè)知識、基本技能，還注重培養(yǎng)學生的語言表達、人際交往、為人處事等方面能力。在增強班級學風的同時，讓學生意識到這些知識對于步入社會的必要性與重要性。

2、以黨員發(fā)展為契機，培養(yǎng)一批優(yōu)秀的學生干部隊伍。優(yōu)秀的學生干部是班主任的好幫手，同時也是引導班級工作走向成功的關(guān)鍵，在班級工作中，學生干部著實起到榜樣作用。開學初，班委進行了重新調(diào)整。這一學期來，他們總體上適應(yīng)了學生工作要求，心往一處想，勁往一處使，能夠帶領(lǐng)全班同學為建設(shè)良好的班風學風而努力。另外，在今年5月份，各班級分別向黨組織推薦了一名積極要求上進的同學作為發(fā)展對象。為此，我利用班會給學生干部提出了更高的要求：在各個方面都要以身作則，率先垂范，爭當楷模。作為輔導員，我能夠與學生之間建立有效的信息溝通渠道，通過全體學生班會、班委會、走訪宿舍、與學生個別談心等方式，及時掌握了解學生的思想、生活動態(tài)，加強與他們的溝通交流，真正做到班級的各項事務(wù)“公平、公正、公開”。

3、關(guān)注班級后進生，對他們進行引導教育。對成績在班級排名靠后和學分不過半的同學給予特別關(guān)注。針對他們成績落后的原因，我多次找他們談心，幫他們樹立學習的目標、建立學習的信心，消除其心理障礙與自卑感；抓住各種機會，激發(fā)他們的興趣；堅持正面激勵為主,表揚與批評合結(jié)合,做好后進生的教育轉(zhuǎn)化工作。

（五）長期進行安全教育

安全教育是我們要長期進行的一項工作，雖然學生都已經(jīng)大二，但仍要時時刻刻提醒學生。通過班會和主題教育活動，進行消防安全、交通安全、財產(chǎn)安全、人身安全等專門的教育。每次放假都提醒學生在回家和返校途中提醒學生要時刻注意自身財產(chǎn)、人身安全。

（六）日常管理工作

日常管理工作是輔導員工作的一個很重要的部分，只有將學生們的日常工作管理好，才能保證學生們的正常學習，也才能保證教學工作的正常開展。這學年我重點從以下幾個方面做了工作：

1、 定期到宿舍查寢。

宿舍是學生在大學內(nèi)停留時間最長的地點之一，也是學生之間交流的場所，許多矛盾和問題也由此產(chǎn)生。不定期到宿舍查寢，這樣不僅能夠讓我盡快地認識了每一個學生，拉近了彼此的距離，還能就近回答同學們的疑惑，解決學生的問題和矛盾。

2、完善學生信息

在基本信息的基礎(chǔ)上，我按性別、班級、成績、獲獎學金種類、生源地、是否是貧困生、是否是城鎮(zhèn)人口等標準將學生信息進一步細化，做成新的信息登記表。這樣便于查找了解學生的各方面情況，為獎學金的評定，大四時學校向招聘單位提供合適的就業(yè)人選提供了便利條件。

3、公開透明，做好各項評優(yōu)工作，讓所有學生滿意。

每年的評優(yōu)工作都是廣大學生關(guān)注的焦點，評優(yōu)結(jié)果的公平與否也關(guān)系著學生對我們學生工作的信任和認可。因此，我對評優(yōu)工作都給予了高度的重視，在嚴格按照學院有關(guān)標準進行評比的同時，加大了評比標準的宣傳力度，讓所有同學都了解評比標準。同時對各項優(yōu)秀的評選辦法進行了完善和補充，使評選工作更能有章可循。

4、做好獎助學金的評定工作

獎學金是對學生的肯定和褒獎，對學生意義重大。因此公平公正地評定獎助學金是鼓勵學生學習的一種重要手段。我們在評定時，組成評委會，評委會成員由大家信任的同學擔任，嚴格按照同學們的學習成績和各方面的表現(xiàn)來評定獎助學金。

三、不足之處

1、在平日的工作中，事務(wù)性工作較多，缺少系統(tǒng)的理論學習；

2、對學生的引導作用還不夠，學生中存在的厭學、不團結(jié)等現(xiàn)象不能夠完全杜絕。 一學期的工作即將結(jié)束，但對于我的職業(yè)生涯來說，今后要走的路還很長，要學習完善的地方還有很多。在今后的工作中，我將繼續(xù)踏實苦干、銳意進取，以輔導員的職責嚴格要求自己，盡最大努力為學院的跨越式發(fā)展奉獻出自己的光和熱。

第五篇：薄膜物理與技術(shù)要點總結(jié)

最可幾速率:根據(jù)麥克斯韋速率分布規(guī)律,可以從理論上推得分子速率在vm處有極大值,vm稱為最可幾速率2kt?2rt?1.rt

?,vm速度分布平均速度:ktm?m?1.rt,分子運動平均距離 均方根速度:?1.平均動能真空的劃分：粗真空、低真空、高真空、超高真空。

真空計：利用低壓強氣體的熱傳導和壓強有關(guān)； (熱偶真空計)利用氣體分子電離；（電離真空計）

真空泵：機械泵、擴散泵、分子泵、羅茨泵機械泵：利用機械力壓縮和排除氣體

擴散泵:利用被抽氣體向蒸氣流擴散的想象來實現(xiàn)排氣作用 分子泵:前級泵利用動量傳輸把排氣口的氣體分子帶走獲得真空

第二章

1.什么是飽和蒸氣壓？蒸發(fā)溫度？

飽和蒸氣壓：在一定溫度下，真空室內(nèi)蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固體或液體平衡過程中所表現(xiàn)出的壓力

蒸發(fā)溫度：物質(zhì)在飽和蒸氣壓為10-2托時的溫度。

2.克--克方程及其意義？

克-克方程dp??dth?，可以知道飽和蒸氣壓和溫度的關(guān)系，對于薄膜的制作技術(shù)有重要實際意義, 幫助我們合理地選擇t(vg?vs)

蒸發(fā)材料和確定蒸發(fā)條件.

3.蒸發(fā)速率、溫度變化對其的影響？在蒸發(fā)源以上溫度蒸發(fā)，蒸發(fā)源溫度的微小變化即可以引起蒸發(fā)速率發(fā)生很大變化。

4.平均自由程與碰撞幾率的概念?氣體分子處于不規(guī)則的熱運動狀態(tài),每個氣體分子在連續(xù)兩次碰撞之間的路程稱為“自由程”,其統(tǒng)計平均值稱為“平均自由程”.蒸發(fā)材料分子能與真空室中殘余氣體分子相互碰撞的數(shù)目占總的蒸發(fā)材料分子的百分數(shù)

5.點蒸發(fā)和小平面蒸發(fā)源特性？

點蒸發(fā)源：能夠從各個方向蒸發(fā)等量材料 小平面蒸發(fā)源：發(fā)射具有方向性，使在?角方向蒸發(fā)的材料質(zhì)量和cos?成正比。

6.拉烏爾定律？如何控制合金薄膜的組分？

拉烏爾定律：在定溫下，在稀溶液中，溶劑的蒸氣壓等于純?nèi)軇┱魵鈮撼艘匀芤褐腥軇┑奈镔|(zhì)的量分數(shù) 。為保證薄膜組成，經(jīng)常采用瞬時蒸發(fā)法、雙蒸發(fā)源法（將要形成合金的每一成分，分別裝入各自的蒸發(fā)源中，然后獨立地控制其蒸發(fā)速率，使達到基板的各種原子符合組成要求。）

7.mbe的特點？

（1）是以系統(tǒng)中的四級質(zhì)譜儀、原子吸收光譜等儀器,精密的監(jiān)測分子束的強度和種類,從而嚴格控制生長過程和生長速率

（2）膜的組分和摻雜濃度可隨源的變化迅速做出調(diào)整。

（3）襯底溫度低，降低了界面上熱膨脹引起的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對外延層的自摻雜擴散影響。

（4）是一個動力學過程，它可以生長按照普通熱平衡生長方法難以生長的薄膜。

（5）生長速率低，有利于實現(xiàn)精確控制厚度、結(jié)構(gòu)與成分和形成陡峭異質(zhì)結(jié)

（6）可用多種分析儀器實時觀察生長面上的成分、結(jié)構(gòu)和生長過程，有利于科學研究

8.膜厚的定義？監(jiān)控方法？膜厚的定義，應(yīng)該根據(jù)測量的方法和目的來決定。 稱重法（微量天平法石英晶體振蕩法）電學方法（電阻法 電容法 電離式監(jiān)控記法）光學方法（光吸收法 光干涉法等厚干涉條紋法） 觸針法（差動變壓器法阻抗放大法壓電元件法

第三章

1.濺射鍍膜和真空鍍膜的特點？1.任何物質(zhì)都可以濺射，尤其是高熔點、低蒸氣壓元素化合物2.濺射膜和基板的附著性好

3.濺射鍍膜密度高，針孔少，且膜層的純度較高4.膜度可控性和重復性好

2.正常輝光放電和異常輝光放電的特征

正常輝光放電：在一定電流密度范圍內(nèi)，放電電壓維持不變。

異常輝光放電：電流增大時，放電電極間電壓升高，且陰極電壓降與電流密度和氣體壓強有關(guān)。

3.射頻輝光放電的特點？

1.在輝光放電空間產(chǎn)生的電子可以獲得足夠的能量，足以產(chǎn)生碰撞電離；2.由于減少了放電對二次電子的依賴，降低了擊穿電壓；3.射頻電壓可以通過各種阻抗偶合，所以電極可以是非金屬材料。

4.濺射的概念及濺射參數(shù)？

濺射是指荷能粒子轟擊固體表面（靶），使固體原子或者分子從表面射出的現(xiàn)象。

1.濺射閾值2.濺射率及其影響因素3.濺射粒子的速度和能量分布4.濺射原子的角度分布5.濺射率的計算

5.濺射機理？

1.濺射率隨入射離子能量增大而增大,在離子能量達到一定程度后,由于離子注入效應(yīng),濺射率減�。�2.濺射率的大小與入射離子的質(zhì)量有關(guān)；3.當入射離子能量小于濺射閾值時，不會發(fā)生濺射；

4.濺射原子的能量比蒸發(fā)原子大許多倍；5.入射離子能量低時，濺射原子角度分布不完全符合余弦定律，與入射離子方向有關(guān)；6.電子轟擊靶材不會發(fā)生濺射現(xiàn)象。

6.二極直流濺射、偏壓濺射、三極或四極濺射、射頻濺射、磁控濺射、離子束濺射結(jié)構(gòu)及原理？

二極直流濺射靶材為良導體,依靠氣體放電產(chǎn)生的正離子飛向陰極靶，一次電子飛向陽極，放電依靠正離子轟擊陰極所產(chǎn)生的二次電子，經(jīng)陰極加速后被消耗補充的一次電子維持。

三極或四極濺射:熱陰極發(fā)射的電子與陽極產(chǎn)生等離子體,靶相對于該等離子體為負電位.為把陰極發(fā)射的電子全部吸引過來，陽極上加正偏壓，20v左右。為使放電穩(wěn)定，增加第四個電極——穩(wěn)定化電極.

偏壓濺射:基片施加負偏壓,在淀積過程中，基片表面將受到氣體粒子的穩(wěn)定轟擊，隨時消除可能進入薄膜表面的氣體，有利于提高薄膜純度，并且也可除掉粘除力弱的淀積粒子，對基片進行清洗，表面凈化，還可改變淀積薄膜的結(jié)構(gòu)。

射頻濺射:可以用射頻輝光放電解釋。等離子體中的電子容易在射頻場中吸收能量并在電場內(nèi)振蕩，與工作氣體的碰撞幾率增大，從而使擊穿電壓和放電電壓顯著降低。

磁控濺射：使用了磁控靶,施加磁場來改變電子的運動方向，束縛并延長電子運動軌跡，進而提高電子對工作氣體的電離效率和濺射沉積率。在陰極靶的表面上形成一個正交的電磁場。 濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區(qū)內(nèi)被加速成為高能電子，但是它并不直接飛向陽極，而在電場和磁場的作用下作擺線運動。高能電子束縛在陰極表面與工作氣體分子發(fā)生碰撞，傳遞能量，并成為低能電子。

離子束濺射:離子源、屏蔽罩。由大口徑離子束發(fā)生源引出惰性氣體，使其照射在靶上產(chǎn)生建設(shè)作用，利用濺射出的粒子淀積在基片上制得薄膜。

第四章

1.離子鍍膜的優(yōu)缺點？

優(yōu)點：（1）膜層的附著性好。利用輝光放電產(chǎn)生的大量高能粒子對基片進行清洗，在膜基界面形成過渡層或膜材與基材的成分混合層，有效的改善膜層的附著性能（2）膜層的密度高（通常和大塊材料密度相同）。（3）繞射性能好。（4）可鍍材質(zhì)范圍廣泛（5）有利于化合物膜層的形成（6）淀積速率高，成膜速率快，可鍍較厚的膜。

缺點：（1）膜層的缺陷密度高（2）高能粒子轟擊基片溫度高，需要進行冷卻。

2.離子鍍膜系統(tǒng)工作的必要條件？

必要條件：造成一個氣體放電的空間；將鍍料原子(金屬原子或非金屬原子)引進放電空間，使其部分離化。

成膜條件： n?nj

3.離子鍍膜技術(shù)的分類？

直流二極型離子鍍、三極和多陰極型離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍膜、射頻離子鍍膜技術(shù)、

4.直流二極濺射、三極和多陰極離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍的原理和特點？

直流二極型離子鍍是利用二極間的輝光放電產(chǎn)生離子、并由基板所加的負電壓對其加速。

特點：轟擊離子能量大，引起基片溫度升高，薄膜表面粗糙，質(zhì)量差；工藝參數(shù)難于控制。設(shè)備簡單，技術(shù)容易實現(xiàn)，用普通真空鍍膜機就可以改裝，因此也具有一定實用價值。附著力好。

三極和多陰極型離子鍍

特點：可實現(xiàn)低氣壓下的離子鍍膜，鍍膜質(zhì)量好，光澤致密；多陰極方式中，陰極電壓在200v就能在10-3 torr左右開始放電；改變輔助陰極(多陰極)的燈絲電流來控制放電狀態(tài)；燈絲處于基板四周，擴大了陰極區(qū)、改善了繞射性，減少了高能離子對工件的轟擊作用.

活性反應(yīng)離子鍍：并用各種不同的放電方式使金屬蒸氣和反應(yīng)氣體的分子、原子激活、離化、使其活化，促進其間的化學反應(yīng)，在基片表面就可以獲得化合物薄膜

特點：增加了反應(yīng)物的活性，在溫度較低的情況下就能獲得附著性能良好的碳化物、氮化物薄膜；可以在任何材料上制備薄膜，并可獲得多種化合物薄膜；淀積速率高；調(diào)節(jié)或改變蒸發(fā)速率及反應(yīng)氣體壓力可以十分方便地制取不同配比、不同結(jié)構(gòu)、不同性質(zhì)的同類化合物；由于采用了大功率、高功率密度的電子束蒸發(fā)源，幾乎可以蒸鍍所有金屬和化合物；清潔，無公害。 射頻離子鍍：通過分別調(diào)節(jié)蒸發(fā)源功率、線圈的激勵功率、基板偏壓等，可以對上述三個區(qū)域進行獨立的控制，由此可以在一定程度上改善膜層的物性。

特點：蒸發(fā)、離化、加速三種過程可分別獨立控制，離化率靠射頻激勵，基板周圍不產(chǎn)生陰極暗區(qū)；較低工作壓力下也能穩(wěn)定放電，而且離化率較高，薄膜質(zhì)量好；容易進行反應(yīng)離子鍍；基板溫升低而且較容易控制；工作真空度較高，故鍍膜的繞射性差，射頻對人體有害；可以制備敏感、耐熱、耐磨、抗蝕和裝飾薄膜。

第五章

1.cvd熱力學分析的主要目的？

cvd熱力學分析的主要目的是預測某些特定條件下某些cvd反應(yīng)的可行性（化學反應(yīng)的方向和限度）。在溫度、壓強和反應(yīng)物濃度給定的條件下，熱力學計算能從理論上給出沉積薄膜的量和所有氣體的分壓，但是不能給出沉積速率。熱力學分析可作為確定cvd工藝參數(shù)的參考

2.cvd過程自由能與反應(yīng)平衡常數(shù)的過程判據(jù)？?gr與反應(yīng)系統(tǒng)的化學平衡常數(shù) kp 有關(guān)。 ?gr??2.3rtlogkpnmkp?pi(生成物)p（反應(yīng)物）ji?1j?1??

3.cvd熱力學基本內(nèi)容？反應(yīng)速率及其影響因素？

按熱力學原理，化學反應(yīng)的自由能變化? gr可以用反應(yīng)物和生成物的標準自由能?gf

?gf(生成物)??gf(反應(yīng)物)來計算，即? gr?

?e?較低襯底溫度下， τ隨溫度按指數(shù)規(guī)律變化。較高襯底溫度下，反應(yīng)物及副產(chǎn)物的擴散速率為決定反應(yīng)速率??aert

的主要因素。

4.熱分解反應(yīng)、化學合成反應(yīng)及化學輸運反應(yīng)及其特點？

熱分解反應(yīng)：在簡單的單溫區(qū)爐中，在真空或惰性氣體保護下加熱基體至所需溫度后，導入反應(yīng)物氣體使之發(fā)生熱分解，最后在基體上沉積出固體圖層。

特點：主要問題是源物質(zhì)的選擇和確定分解溫度。選擇源物質(zhì)考慮蒸氣壓與溫度的關(guān)系，注意在該溫度下的分解產(chǎn)物中固相僅為所需沉積物質(zhì)。

化學合成反應(yīng)：化學合成反應(yīng)是指兩種或兩種以上的氣態(tài)反應(yīng)物在熱基片上發(fā)生的相互反應(yīng)。

特點：比熱分解法的應(yīng)用范圍更加廣泛�？梢灾苽鋯尉�、多晶和非晶薄膜。容易進行摻雜。

化學輸運反應(yīng)：將薄膜物質(zhì)作為源物質(zhì)（無揮發(fā)性物質(zhì)），借助適當?shù)臍怏w介質(zhì)與之反應(yīng)而形成氣態(tài)化合物，這種氣態(tài)化合物經(jīng)過化學遷移或物理輸運到與源區(qū)溫度不同的沉積區(qū)，在基片上再通過逆反應(yīng)使源物質(zhì)重新分解出來，這種反應(yīng)過程稱為化學輸運反應(yīng)。

? t = t特點：t1 ?2不能太大；平衡常數(shù)kp接近于1。

5.cvd的必要條件？

1.在沉積溫度下，反應(yīng)物具有足夠的蒸氣壓，并能以適當?shù)乃俣缺灰�入反�?yīng)室；

2.反應(yīng)產(chǎn)物除了形成固態(tài)薄膜物質(zhì)外，都必須是揮發(fā)性的；3.沉積薄膜和基體材料必須具有足夠低的蒸氣壓，

6.什么是冷壁cvd？什么是熱壁cvd？特點是什么？

冷壁cvd：器壁和原料區(qū)都不加熱，僅基片被加熱，沉積區(qū)一般采用感應(yīng)加熱或光輻射加熱。缺點是有較大溫差，溫度均勻性問題需特別設(shè)計來克服。適合反應(yīng)物在室溫下是氣體或具有較高蒸氣壓的液體。

熱壁cvd：器壁和原料區(qū)都是加熱的，反應(yīng)器壁加熱是為了防止反應(yīng)物冷凝。管壁有反應(yīng)物沉積，易剝落造成污染。

7.什么是開管cvd？什么是閉管cvd？特點是什么？

開口cvd的特點：能連續(xù)地供氣和排氣； 反應(yīng)總處于非平衡狀態(tài)；在大多數(shù)情況下，開口體系是在一個大氣壓或稍高于一個大氣壓下進行的；開口體系的沉積工藝容易控制，工藝重現(xiàn)性好，工件容易取放，同一裝置可反復多次使用；有立式和臥式兩種形式。

閉管法的優(yōu)點：污染的機會少，不必連續(xù)抽氣保持反應(yīng)器內(nèi)的真空，可以沉積蒸氣壓高的物質(zhì)。缺點：材料生長速率慢，不適合大批量生長，一次性反應(yīng)器，生長成本高；管內(nèi)壓力檢測困難等。關(guān)鍵環(huán)節(jié)：反應(yīng)器材料選擇、裝料壓力計算、溫度選擇和控制等。

8.什么是低壓cvd和等離子cvd？

低壓cvd:氣相輸運和反應(yīng).低壓下氣體擴散系數(shù)增大,使氣態(tài)反應(yīng)物和副產(chǎn)物的質(zhì)量傳輸速率加快,形成薄膜的反應(yīng)速率增加 等離子cvd:等離子體參與的利用在等離子狀態(tài)下粒子具有的較高能量,使沉積溫度降低化學氣相沉積稱為等離子化學氣相沉積。

第六章

1.什么是化學鍍？它與化學沉積鍍膜的區(qū)別？

化學鍍膜是指在還原劑的作用下，使金屬鹽中的金屬離子還原成原子，在基片表面沉積的鍍膜技術(shù)，又稱無電源電鍍�；瘜W鍍不加電場、直接通過化學反應(yīng)實現(xiàn)薄膜沉積。

化學鍍膜的還原反應(yīng)必須在催化劑的作用下才能進行，且沉積反應(yīng)只發(fā)生在基片表面上。

化學沉積鍍膜的還原反應(yīng)是在整個溶液中均勻發(fā)生的，只有一部分金屬在基片上形成薄膜，大部分形成粉粒沉積物。

2.自催化鍍膜的特點？

1.可以在復雜形狀表面形成薄膜；2.薄膜的孔隙率較低；3.可直接在塑料、陶瓷、玻璃等非導體表面制備薄膜；4.薄膜具有特殊的物理、化學性能；5.不需要電源，沒有導電電極。

3.sol-gel鍍膜技術(shù)的特點和主要過程？

優(yōu)點：高度均勻性；高純度；可降低燒結(jié)溫度；可制備非晶態(tài)薄膜；可制備特殊材料（薄膜、纖維、粉體、多孔材料等）。 缺點：原料價格高；收縮率高，容易開裂；存在殘余微氣孔；存在殘余的羥基、碳等；有機溶劑有毒。

主要過程：復合醇鹽的制備；成膜（勻膠、浸漬提拉）；水解和聚合；干燥；焙燒。

4.陽極氧化鍍膜和電鍍的原理和特點？

金屬或合金在適當?shù)碾娊庖褐凶鳛殛枠O，并施加一定的直流電壓，由于電化學反應(yīng)在陽極表面形成氧化物薄膜的方法，稱為陽極氧化技術(shù)。特點： 得到的氧化物薄膜大多是無定形結(jié)構(gòu)。由于多孔性使得表面積特別大，所以顯示明顯的活性，既可吸附染料也可吸附氣體；化學性質(zhì)穩(wěn)定的超硬薄膜耐磨損性強，用封孔處理法可將孔隙塞住，使薄膜具有更好耐蝕性和絕緣性；利用著色法可以使膜具有裝飾效果。 ??

電鍍的特點：膜層缺陷：孔隙、裂紋、雜質(zhì)污染、凹坑等；上述缺陷可以由電鍍工藝條件控制； 限制電鍍應(yīng)用的最重要因素之一是拐角處鍍層的形成；在拐角或邊緣電鍍層厚度大約是中心厚度的兩倍；多數(shù)被鍍件是圓形，可降低上述效應(yīng)的影響。

5.什么是lb技術(shù)？lb薄膜的種類？lb薄膜的特點？

（lb技術(shù)）是指把液體表面的有機單分子膜轉(zhuǎn)移到固體襯底表面上的一種成膜技術(shù)。得到的有機薄膜稱為lb薄膜。 種類：x型膜（薄膜每層分子的親油基指向基片表面）、y型膜（薄膜每層分子的親水基與親水基相連，親油基與親油基相連）、z型膜（薄膜每層分子的親水基指向基片表面）

優(yōu)點：lb薄膜中分子有序定向排列,這是一個重要特點;很多材料都可以用lb技術(shù)成膜,lb膜有單分子層組成，它的厚度取決于分子大小和分子的層數(shù);通過嚴格控制條件,可以得到均勻、致密和缺陷密度很低的lb薄膜;設(shè)備簡單，操作方便

缺點：成膜效率低；lb薄膜均為有機薄膜，包含了有機材料的弱點；lb薄膜厚度很薄，在薄膜表征手段方面難度較大。

第七章

1.薄膜形成的基本過程描述？

薄膜形成分為：凝結(jié)過程、核形成與生長過程、島形成與結(jié)合生長過程。

2.什么是凝聚？入射原子滯留時間、平均表面擴散時間、平均擴散距離的概念？

凝聚：吸附原子結(jié)合成原子對及其以后的過程

入射原子滯留時間：入射到基體表面的原子在表面的平均滯留時間?a與吸附能ed之間的關(guān)系為?a??0exp(ed/kt) 平均表面擴散時間：吸附原子在一個吸附位置上的停留時間稱為平均表面擴散時間，用?d表示。它和表面擴散能ed之間的關(guān)系是?d??0"exp(ed/kt)。

平均擴散距離：吸附原子在表面停留時間經(jīng)過擴散運動所移動的距離（從起始點到終點的間隔）稱為平均表面擴散時間，并用x表示，它與吸附能ed和擴散能ed之間的關(guān)系為x?a0exp??ed?ed?/kt?

3.什么是捕獲面積？對薄膜形成的影響？

捕獲面積：吸附原子的捕獲面積 sd?nno

s當 ?? 2 時，每個吸附原子的捕獲面積內(nèi)只有一個原子，故不能形成原子對，也不能產(chǎn)生凝結(jié)。當1?s ? ?2時，發(fā)生部分凝結(jié)。平均每個吸附原子的捕獲面積內(nèi)有一個或兩個吸附原子，可形成原子對或三原子團。在滯留時間內(nèi)，一部分吸附原子有可能重新蒸發(fā)掉。當 s ?? 1 時，每個吸附原子的捕獲面積內(nèi)至少有兩個吸附原子�？尚纬稍�子對或更大的原子團，從而達到完全凝結(jié)。

4.凝聚過程的表征方法？

凝結(jié)系數(shù)（單位時間內(nèi)，完全凝結(jié)的氣相原子數(shù)與入射到基片表面上的總原子數(shù)之比）、粘附系數(shù)（單位時間內(nèi)，再凝結(jié)的氣相原子數(shù)與入射到基片表面上的總原子數(shù)之比）、熱適應(yīng)系數(shù)（表征入射氣相（或分子）與基體表面(更多內(nèi)容請訪問首頁：m.hmlawpc.com)碰撞時相互交換能量的程度的物理量稱為熱適應(yīng)系數(shù)）。

5.核形成與生長的物理過程。島狀生長模式、層狀生長模式、層島混合模式

6.核形成的相變熱力學和原子聚集理論的基本內(nèi)容？

認為薄膜形成過程是由氣相到吸附相、再到固相的相變過程，其中從吸附相到固相的轉(zhuǎn)變是在基片表面上進行的。

原子聚集理論將核（原子團）看作一個大分子聚集體，用其內(nèi)部原子之間的結(jié)合能或與基片表面原子之間的結(jié)合能代替熱力學理論中的自由能。

7.什么是同質(zhì)外延、異質(zhì)外延？晶格失配度？

外延工藝是一種在單晶襯底的表面上淀積一個單晶薄層的方法。如果薄膜與襯底是同一種材料該工藝被稱為同質(zhì)外延，常被簡單地稱為外延。如果薄膜與襯底不是同一種材料該工藝被稱為異質(zhì)外延，常被簡單地稱為外延。

晶格失配度若沉積薄膜用的基片材料的晶格常數(shù)為a，薄膜材料的晶格常數(shù)為b，在基片上外延生長薄膜的晶格失配數(shù)m可用下式表示m?b?a。 a

8..形成外延薄膜的條件？

?設(shè)沉積速率為r，基片溫度為t ，?e薄膜生長速率要小于吸附原子在基片表面上的遷移速率；提高r?a?exp??d ?溫度有利于形成外延薄膜 ?kt?

第八章

1.薄膜結(jié)構(gòu)是指哪些結(jié)構(gòu)？其特點是哪些？

薄膜的結(jié)構(gòu)按研究對象不同分為組織結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)、表面結(jié)構(gòu)。（1）組織結(jié)構(gòu)是指薄膜的結(jié)晶形態(tài)，包括無定形結(jié)構(gòu)、多晶結(jié)構(gòu)、纖維結(jié)構(gòu)、單晶結(jié)構(gòu)。無定形結(jié)構(gòu)：結(jié)構(gòu)特性：近程有序、長程無序；不具備晶體的性質(zhì)；亞穩(wěn)態(tài)。晶界上存在晶格畸變；界面能：界面移動造成晶粒長大和界面平直化；空位源：雜質(zhì)富集；纖維結(jié)構(gòu)薄膜是指晶粒具有擇優(yōu)取向的薄膜

（2）晶體結(jié)構(gòu)：多數(shù)情況下，薄膜中晶粒的晶格結(jié)構(gòu)與體材料相同，只是晶粒取向和晶粒尺寸不同，晶格常數(shù)也不同。薄膜材料本身的晶格常數(shù)與基片材料晶格常數(shù)不匹配；

薄膜中有較大的內(nèi)應(yīng)力和表面張力。

（3）表面結(jié)構(gòu)：薄膜表面形成過程，由熱力學能量理論，薄膜表面平化；晶粒的各向異性生長，薄膜表面粗化；低溫基片上，薄膜形成多孔結(jié)構(gòu)。

2.蒸發(fā)薄膜微觀結(jié)構(gòu)隨溫度變化如何改變？

低溫時，擴散速率小，成核數(shù)目有限，形成不致密帶有縱向氣孔的葡萄結(jié)構(gòu)；隨著溫度升高，擴散速率增大，形成緊密堆積纖維狀晶粒然后轉(zhuǎn)為完全之謎的柱狀晶體結(jié)構(gòu)；溫度再升高，晶粒尺寸隨凝結(jié)溫度升高二增大，結(jié)構(gòu)變?yōu)榈容S晶貌；

3.薄膜的主要缺陷類型及特點？

薄膜的缺陷分為：點缺陷（晶格排列出現(xiàn)只涉及到單個晶格格點，典型構(gòu)型是空位和填隙原子，點缺陷不能用電子顯微鏡直接觀測到，點缺陷種類確定后，它的形成能是一個定值）、位錯（在薄膜中最常遇到，是晶格結(jié)構(gòu)中一種“線性”不完整結(jié)構(gòu)，位錯大部分從薄膜表面伸向基體表面，并在位錯周圍產(chǎn)生畸變）、晶格間界（薄膜由于含有許多小晶粒，故晶粒間界面積比較大）和層錯缺陷（由原子錯排產(chǎn)生，在小島間的邊界處出現(xiàn)，當聚合并的小島再長大時反映層錯缺陷的衍射襯度就會消失）。

4.薄膜的主要分析方法有哪些？基本原理是什么？

（1）x射線衍射法。利用x射線晶體學，x射線束射到分析樣品表面后產(chǎn)生反射，檢出器收集反射的x射線信息，當入射x射線波長?、樣品與x射線束夾角?、及樣品晶面間距d滿足布拉格方程2dsin??n?，檢測器可檢測到最大光強。

（2）電子衍射法。在透射電子顯微鏡下觀察薄膜結(jié)構(gòu)同時進行電子衍射分析，電子束波長比特征x射線小得多，利用l??rd，求出晶格面間距。

（3）掃描電子顯微鏡分析法。將樣品發(fā)射的特征x射線送入x射線色譜儀或x射線能譜儀進行化學成分分析，特征x射線波長?和原子序數(shù)z滿足莫塞萊定律c/??k(z??)，只要測得x射線的波長，進而測定其化學成分。

（4）俄歇電子能譜法。俄歇電子的動能為e，由能量守恒定律ek-el1=el23+e，近似el1=el23，得俄歇電子的動能e=ek-2el。對于每種元素的原子來說，el1、el23都有不同的特征值，只要測出電子動能e，就可以進行元素鑒定。利用俄歇電子能譜法中的化學位移效應(yīng)不但可以鑒定樣品的組分元素還可鑒定它的化學狀態(tài)。

（5）x射線光電子能譜法。x射線入射到自由原子的內(nèi)殼層上，將電子電離成光電子，有電子能量分析測得光電子束縛能，不同源自或同一原子的不同殼層有不同數(shù)量的特征值�？梢酝ㄟ^元素鑒定測出。

（6）二次離子質(zhì)譜法。二次離子質(zhì)譜是利用質(zhì)譜法分析初級離子入射靶面后，濺射產(chǎn)生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質(zhì)譜可以分析包括氫在內(nèi)的全部元素，并能給出同位素的信息，分析化合物組分和分子結(jié)構(gòu)。

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